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光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)要注意哪些

2018-08-07  來自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1615

  光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)要注意哪些

  現(xiàn)在我們的光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。

  那么光學(xué)鍍膜機(jī)的電子槍安裝與維護(hù)有哪些呢?

  電子槍控制電柜內(nèi)含有高壓,在工作前必須保證柜門各個聯(lián)鎖裝置正常工作,非專業(yè)人員不得打開電柜門,電子槍在工作時不得打開電柜門,整個電柜必須有良好的接地并與機(jī)臺接地連接。

  電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發(fā)射為好。

  電子槍蒸發(fā)源是一個精密機(jī)械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

  (一)電子槍頭

  電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行,其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。電子槍槍頭有使用一段時間后,會因?yàn)榻M件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。

  (二)導(dǎo)磁板及掃描圈的維護(hù)

  導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護(hù),如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實(shí),請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。

  (三)坩堝的維護(hù)

  拆坩堝之前,請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

 

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