多弧離子鍍膜機(jī)幾種排氣方法
2020-12-16 來(lái)自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):2452
多弧離子鍍膜機(jī)的抽真空通常采用下面幾種排氣方法：?jiǎn)渭兣艢夤に?、抽空加熱排氣工藝、空氣預(yù)加熱排氣工藝。
多弧離子鍍膜機(jī)單純排氣工藝的方法是，真空離子鍍膜機(jī)的真空室從大氣壓、常溫開(kāi)始用機(jī)械泵抽空到15Pa后，再加高真空擴(kuò)散泵進(jìn)行抽氣，一直到放氣量降低到允許范圍。
這是一種簡(jiǎn)單、普通的獲得高真空的排氣方法。用于真空離子鍍膜機(jī)當(dāng)中的話，抽氣效果極差，不僅抽氣時(shí)間需要特別長(zhǎng)，而且吸附劑無(wú)法得到再活化。因此，單純排氣工藝僅僅適用于不能加熱的多層絕熱量熱器的真空容器的排氣
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