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離子鍍膜機(jī)分析真空鍍膜時(shí)產(chǎn)品掉膜的原因

2018-01-18  來(lái)自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1651

  離子鍍膜機(jī)分析真空鍍膜時(shí)產(chǎn)品掉膜的原因

  真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來(lái)很棘手,可以考慮從以下幾個(gè)方面排除:

  1、表面清潔度

  產(chǎn)品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長(zhǎng)點(diǎn)。

  2、清洗過(guò)程中的問(wèn)題

  鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。

  3、工藝的問(wèn)題

  工藝參數(shù)是否有變動(dòng),在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。

  4、靶材的問(wèn)題

  鈦靶是否中毒,檢查和更換。

  5、真空腔是否漏氣

  進(jìn)行一次撿漏。

  6、產(chǎn)品表面氧化

  氧化的原因很多,可以自行判斷處理。


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